יפן פיתחה טכנולוגיה חדשה לחימום מצעי רקיק שטוחים, העולה על שיטות הטחינה והטיטוש המסורתיות
על פי דיווח על אתר האינטרנט הסיני של ניקקי, צוות מחקר בראשותו של פרופסור סיימאטסו האנג מאוניברסיטת ווסדה ביפן פיתח שיטה לשטח את פני השטח של מצעי רקיק מוליכים למחצה על ידי חימום, שהוא נוח יותר וביצועים גבוהים מאשר שיטות טחנה מסורתיות, ומועיל לשיפור תהליכי ייצור מוליכים למחצה.
צוות המחקר ערך ניסויים באמצעות מצעי רקיק סיליקון קרביד.בשל העובדה כי פלים מיוצרים על ידי חיתוך כל גוש הגביש לפרוסות דקות, חתך הרוחב נוטה לחוסר אחידות ולא ניתן להשתמש בו ישירות.השיטה המסורתית היא לשלב שיטות מרובות ליטוש וטחינה, אך הדבר יכול להוביל לנזק פנימי וירידת ירידת פני השטח.
הצוות יחמם את מצע הסיליקון הקרביד הטחון באופן מכני תחת ארגון והגנה על מימן למשך 10 דקות עד 1600 מעלות צלזיוס, ואז ישמור אותו על 1400 מעלות צלזיוס למשך תקופה מסוימת.בשלב זה, פני השטח מגיעים לרמה אטומית של שטוחות.בשל שיטת הפעולה הפשוטה שלה, הדורשת רק חימום, בהשוואה ללטש מרובה מסורתי, מועיל לקצר את שעות הייצור ולהפחתת העלויות.
בנוסף לעיבוד כוח מוליכים למחצה מוליכים סיליקון קרביד, ניתן להשתמש בטכנולוגיה זו גם לעיבוד חומרים אחרים עם מבני סריג דומים, כמו פליקי גליום ניטריד וגלום ארסניד.
צוות המחקר ערך ניסויים באמצעות מצעי רקיק סיליקון קרביד.בשל העובדה כי פלים מיוצרים על ידי חיתוך כל גוש הגביש לפרוסות דקות, חתך הרוחב נוטה לחוסר אחידות ולא ניתן להשתמש בו ישירות.השיטה המסורתית היא לשלב שיטות מרובות ליטוש וטחינה, אך הדבר יכול להוביל לנזק פנימי וירידת ירידת פני השטח.
הצוות יחמם את מצע הסיליקון הקרביד הטחון באופן מכני תחת ארגון והגנה על מימן למשך 10 דקות עד 1600 מעלות צלזיוס, ואז ישמור אותו על 1400 מעלות צלזיוס למשך תקופה מסוימת.בשלב זה, פני השטח מגיעים לרמה אטומית של שטוחות.בשל שיטת הפעולה הפשוטה שלה, הדורשת רק חימום, בהשוואה ללטש מרובה מסורתי, מועיל לקצר את שעות הייצור ולהפחתת העלויות.
בנוסף לעיבוד כוח מוליכים למחצה מוליכים סיליקון קרביד, ניתן להשתמש בטכנולוגיה זו גם לעיבוד חומרים אחרים עם מבני סריג דומים, כמו פליקי גליום ניטריד וגלום ארסניד.